無油真空泵又稱干式真空泵，是泵工作室內無介質的回收氣體。有油真空泵，如旋片泵，依靠介質油工作，同一水環泵依靠水工作（然后水被污染）。

一、有油真空泵

油真空泵通過油密封、潤滑、冷卻，這種類型的真空泵可以接受一點水，無油真空泵由于葉片材料是石墨，如果遇到水，容易膨脹、損壞，但無油真空泵相對干凈，可用于一些環境要求較高的地方。

二、無油真空泵

其工作原理與一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要部件組成。帶旋轉片的轉子偏心安裝在固定缸內。當轉子高速旋轉時，轉子槽內的四個徑向滑動旋轉片將泵腔分隔成四個工作室。由于離心力的作用，旋轉片靠近缸壁，將定子進出口分開，反復運轉變容，吸入氣體，從排氣口排出，達到抽氣的目的。實驗室一般采用無油真空泵，是一種直接連接電源的真空泵，不需要添加水或真空泵油。無油泵的優點是操作簡單，同時免維護。由于干式運行原理，真空泵工作室不會產生油霧揮發，或泵油和水吸入泵管。無油真空泵適用于真空過濾或吸液、細胞培養液廢液提取。這些用途對真空度要求不高。如果使用油泵，吸油和油霧污染會影響實驗。例如，在過濾過程中，反向吸入會污染過濾過的過濾液入培養基礎上的清洗液一般不能在潔凈室使用油泵或水循環真空泵產品。一些真空度高、抽速高的無油真空泵，也可與真空干燥箱或小型真空干燥器相匹配。